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多功能磁控離子濺射復(fù)合鍍膜機(jī)TSU650重點(diǎn)
報(bào)價(jià)：面議
| 品牌： | 北京泰科諾 |
| 產(chǎn)地： | 北京 |
| 關(guān)注度： | 1316 |
| 型號(hào)： | 多功能磁控離子濺射復(fù)合鍍膜機(jī)TSU650 |
產(chǎn)品介紹
設(shè)備名稱：多功能磁控離子濺射復(fù)合鍍膜設(shè)備
設(shè)備型號(hào)：TSU650
真空腔室結(jié)構(gòu)：立式圓柱形前開(kāi)門，雙層水冷，多通用法蘭接口
真空腔室尺寸：Φ650mm×H650mm
工件架尺寸：Φ490mm，4-6 工位公 / 自轉(zhuǎn)工件架
工件架烘烤溫度：室溫～ 500±5℃，可調(diào)可控（PID 控溫）
工件架運(yùn)動(dòng)方式：公轉(zhuǎn) 0-5RPM 可調(diào)
輔助離子源：偏壓、線性離子源輔助（可選）
陰極：矩形磁控靶、柱狀靶、平面弧源、磁過(guò)濾弧源（可選） 國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口靶、或電源可選
控制方式：PLC 控制 / 工控機(jī)全自動(dòng)控制可選
占地面積：主機(jī) L2800mm×W1200mm×H1950mm
總功率：≥ 60kW
選購(gòu)件：基片臺(tái)加熱系統(tǒng)、循環(huán)水機(jī)、膜厚控制系統(tǒng)等
問(wèn)商家
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推薦產(chǎn)品
供應(yīng)產(chǎn)品
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工商信息
企業(yè)名稱
北京泰科諾科技有限公司
企業(yè)類型
信用代碼
9111011475217349XB
法人代表
注冊(cè)地址
成立日期
注冊(cè)資本
有效期限
經(jīng)營(yíng)范圍
