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高真空磁控濺射鍍膜設備JCP200
報價:面議
品牌: 北京泰科諾
產地: 北京
關注度: 1245
型號: 高真空磁控濺射鍍膜設備JCP200
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產品介紹

設備型號: JCP200

真空腔室結構: 立式上開蓋結構

真空腔室尺寸: Φ220mm×H300mm

加熱溫度: 室溫~ 500℃

基片臺尺寸: Φ100mm

膜厚不均勻性: Φ50mm 范圍內≤ ±5.0%

濺射靶: Φ2 英寸磁控靶 1 支 兼容 DC/RF 濺射

工藝氣體 :1-2 路氣體流量控制

控制方式 :PLC + 觸摸屏控制

占地面積 (主機) :L600mm×W800mm×H1700mm

總功率 :≥ 6kW


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企業名稱

北京泰科諾科技有限公司

企業類型

信用代碼

9111011475217349XB

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