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品牌: | 日本樫山工業Kashiyama |
產地: | 日本 |
關注度: | 420 |
型號: | SDE303X |
出口直徑(mm):不限
進口直徑(mm):不限
泵軸位置:其他
驅動方式:其他
輸送物料:粉體
連接方式:其他
材質:其他
口徑:不限
壓力:不限
設計標準:不限

日本樫山工業(Kashiyama)生產的干式真空泵SDE303X具有以下特點:
無油干式技術:采用螺桿式/爪式轉子結構,通過精密嚙合轉子實現氣體壓縮,全程無潤滑油,避免油蒸氣污染,適合敏感工藝如晶圓加工。
抽速范圍:10~1,500 m3/h,極限真空 0.1 Pa(0.001 mbar)。
耐腐蝕設計:轉子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層,耐受酸性氣體(如HCl、Cl?)和顆粒物。
節能高效:變頻驅動(VFD)調節轉速,能耗較油封泵降低30%~50%。
智能控制與監控:實時參數顯示,包括真空度、溫度、功耗等數據,這些數據可以通過觸摸屏或遠程接口(Modbus/以太網)輸出。自診斷系統,振動、溫度傳感器預警異常(如過載或異物進入),自動停機保護。
典型應用場景:半導體與電子、化工與制藥、新能源等領域。
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深圳秋山工業設備有限公司
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