1 年
高級(jí)會(huì)員
已認(rèn)證
PE-CVD系統(tǒng)
報(bào)價(jià)：面議
| 品牌： | 賽瑞達(dá) |
| 產(chǎn)地： | 江蘇 |
| 關(guān)注度： | 791 |
| 型號(hào)： | PE-CVD系統(tǒng) |
核心參數(shù)
非金屬電熱元件：其他
金屬電熱元件：其他
燒結(jié)氣氛：其他
溫控精度：±1℃
最高溫度：650℃
產(chǎn)品介紹
工藝規(guī)范
◆繞鍍：<1mm
◆Poly均勻性(80-150nm):<4%(片內(nèi)/片間/批間)
◆成膜種類：SiNx,SiONx,POLY
硬件規(guī)格
◆溫區(qū)數(shù)量：6個(gè)溫區(qū)
◆**溫度：650℃
◆溫度均勻性：300℃~650℃±1℃
◆晶圓裝載法：槳軟著陸
◆工藝腔的材質(zhì)：石英
主要特點(diǎn)
◆產(chǎn)能：616~768pcs/管(雙舟)
◆管數(shù)：6管
◆壓力控制：APC控制方式
◆系統(tǒng)控制：PLC和PC工控機(jī)
◆通訊：Melsec,MES,I/O,SECS-II等
◆自動(dòng)化集成：用于客戶優(yōu)化和MES控制集成的全自動(dòng)化解決方案
優(yōu)點(diǎn)
◆快速的工藝認(rèn)證，允許極高的生產(chǎn)提升
◆工藝過(guò)程中APC良好的控制工藝管壓力
◆更大的正常運(yùn)行時(shí)間和更低的成本，良好的技術(shù)支持和服務(wù)，確保設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定使用
問(wèn)商家
- PE-CVD系統(tǒng)的工作原理介紹？
- PE-CVD系統(tǒng)的使用方法？
- PE-CVD系統(tǒng)多少錢(qián)一臺(tái)？
- PE-CVD系統(tǒng)使用的注意事項(xiàng)
- PE-CVD系統(tǒng)的說(shuō)明書(shū)有嗎？
- PE-CVD系統(tǒng)的操作規(guī)程有嗎？
- PE-CVD系統(tǒng)的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎？
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推薦產(chǎn)品
供應(yīng)產(chǎn)品
賽瑞達(dá)智能電子裝備（無(wú)錫）有限公司為您提供賽瑞達(dá)PE-CVD系統(tǒng)，PE-CVD系統(tǒng)產(chǎn)地為江蘇，屬于粉體焙燒爐，除了PE-CVD系統(tǒng)的參數(shù)、價(jià)格、型號(hào)、原理等信息外，還可為您提供氣氛保護(hù)燒結(jié)爐、低壓硼擴(kuò)散爐、HJT吸雜爐。
工商信息
企業(yè)名稱
賽瑞達(dá)智能電子裝備（無(wú)錫）有限公司
企業(yè)類型
信用代碼
91320200MA26UEDD7C
法人代表
注冊(cè)地址
成立日期
注冊(cè)資本
有效期限
經(jīng)營(yíng)范圍
