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HJT吸雜爐
報價：面議
| 品牌： | 賽瑞達 |
| 產地： | 江蘇 |
| 關注度： | 956 |
| 型號： | HJT吸雜爐 |
核心參數
非金屬電熱元件：其他
金屬電熱元件：其他
燒結氣氛：其他
產品介紹
主要特點
◆產能:>25000pcs/h;4800~5280pcs/管(105*210mm)
◆管數:6管
◆壓力控制:APC控制方式
◆系統控制:PLC和PC工控機
◆通訊:Melsec,MES.I/O,SECS-II等
◆自動化集成:用于客戶優化和MES控制集成的全自動化解決方案
工藝規范
◆方阻值:30~60Ω/cmsq
◆極限真空:≤20mbar
◆方阻均勻性:<5%(片內/片間/批間)
硬件規格
◆恒溫區長度:2800mm
◆溫區數量:6個溫區
◆**溫度:950℃
◆溫度均勻性:800℃~950℃±0.5℃
◆晶圓裝載法:碳化硅懸臂槳
◆槳的**承重量:100kg
◆工藝腔和舟的材質:石英管&碳化硅舟托獨立磷源柜，便于更換源瓶
優點
◆快速的工藝認證，可以極高的提升生產
◆工藝過程中APC良好的控制工藝管壓力
◆使用SiC槳使加載區穩定，SiC舟托使用壽命更長
◆更大的正常運行時間和更低的成本，良好的技術支持和服務，確保設備長期穩定使用
問商家
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供應產品
賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司為您提供賽瑞達HJT吸雜爐，HJT吸雜爐產地為江蘇，屬于粉體焙燒爐，除了HJT吸雜爐的參數、價格、型號、原理等信息外，還可為您提供氣氛保護燒結爐、低壓硼擴散爐、閉管軟著陸擴散爐。
工商信息
企業名稱
賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司
企業類型
信用代碼
91320200MA26UEDD7C
法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經營范圍
