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多腔磁控濺射光學(xué)鍍膜機(jī)
報價:面議
品牌: 匯成真空
產(chǎn)地: 廣東
關(guān)注度: 473
型號: 多腔磁控濺射光學(xué)鍍膜機(jī)
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產(chǎn)品介紹

射頻離子源清洗及后氧化輔助濺射成膜,適用于車載蓋板玻璃和3C產(chǎn)品前蓋玻璃沉積AR膜,其中AR膜可為普通SiO2+Nb2O5膜系,也可為硬質(zhì)SiO2+Si3N4膜系。可選在線AF/AS系統(tǒng),沉積AR+AF/AS膜,AR+DLC+AF/AS膜,兼容2D/3D基材。同時也適用于3C產(chǎn)品后蓋顏色膜(含漸變色膜)、NCVM膜的加工。

規(guī)格
型號HCSO-2550V
尺寸Ф2700mm*H2350mm
結(jié)構(gòu)三腔室結(jié)構(gòu)(進(jìn)料室+工藝室+出料室)
性能
轉(zhuǎn)速10~100RPM(可變)
進(jìn)出料室抽速大氣壓至10Pa≤5min
工藝室抽速3.0×10-3Pa≤15min
極限真空度8.0×10-5Pa (成膜室)
濺射靶材Nb,Si,Cr,Al,Ti,In,Nb2O5,ITO,C ...
主要配置
夾具系統(tǒng)中心旋轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)夾具桶 / 掛板機(jī)械結(jié)構(gòu)傳動
掛板Φ2550x H1200 ~ H1800mm
掛板尺寸可客制化調(diào)整
排氣系統(tǒng)低真空泵組 + 高真空泵組 + Polycold
真空控制系統(tǒng)真空控制器、潘寧及皮拉尼真空計
鍍膜系統(tǒng)DC或MF磁控濺射源+ 等離子體源 + 在線AF/AS蒸發(fā)源
充氣系統(tǒng)MFC或APC自動壓強(qiáng)控制儀
控制系統(tǒng)PC+PLC
應(yīng)用
光學(xué)薄膜應(yīng)用UV截止濾光片、AR、硬質(zhì)AR膜、硬質(zhì)膜、HR膜、AS/AF等,兼容2D/3D基材
適用波長300nm~780nm
注:可客制化(數(shù)據(jù)僅供參考)


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廣東匯成真空科技股份有限公司為您提供匯成真空多腔磁控濺射光學(xué)鍍膜機(jī),多腔磁控濺射光學(xué)鍍膜機(jī)產(chǎn)地為廣東,屬于煤炭行業(yè)專用儀器,除了多腔磁控濺射光學(xué)鍍膜機(jī)的參數(shù)、價格、型號、原理等信息外,還可為您提供原子層沉積(ALD)鍍膜機(jī)、高精密電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)、高精密多腔磁控濺射光學(xué)鍍膜機(jī)。
工商信息
企業(yè)名稱

廣東匯成真空科技股份有限公司

企業(yè)類型

信用代碼

91441900791240616U

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