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Plasma Scrubber等離子式廢氣處理設備
報價：面議
| 品牌： | 中微公司 |
| 產地： | 上海 |
| 關注度： | 361 |
| 型號： | Plasma Scrubber等離子式廢氣處理設備 |
產品介紹
本設備用于處理半導體光伏面板等行業生產制程中都會產生的大量易燃劇毒有害氣體，廢氣通過真空管進入設備后在反應腔內被分解成無害成分，經過水淋和顆粒捕捉后能達到安全的排放標準。
本設備通過等離子發生器結合氮氣產生等離子火焰，該火焰能量集中，適合分解易燃易爆劇毒及溫室氣體。設備設計有專用的粉塵沖洗式反應腔，有效防止腔體腐爛和堵塞。
產品特點
設備占地面積小、便于安裝
不需要燃氣等化石燃料（僅用氮氣），減碳節能
SiH4、H2、PH3 CF4 SF6 等泛光伏半導體特氣處理效率高
開關機速度快，不需要長時間等待加熱和散熱
安全性能好，靈活互備
競爭優勢
自研發穩定便于維護的火炬，縮短安裝時間
反應腔采用粉塵沖洗設計
入口管采用新型防堵方案，PM周期長
可根據客戶需求，提供定制化服務
問商家
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中微半導體設備（上海）股份有限公司為您提供中微公司Plasma Scrubber等離子式廢氣處理設備，Plasma Scrubber等離子式廢氣處理設備產地為上海，屬于半導體行業專用儀器，除了Plasma Scrubber等離子式廢氣處理設備的參數、價格、型號、原理等信息外，還可為您提供Primo TSV? 高性能、高產能的深硅刻蝕設備、Primo D-RIE刻蝕設備、PRISMO HiT3? MOCVD設備。
工商信息
企業名稱
中微半導體設備（上海）股份有限公司
企業類型
信用代碼
913101157626272806
法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經營范圍
