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電阻加熱8英寸PVT晶體生長爐PVT850
報價：面議
| 品牌： | 豐港化學 |
| 產(chǎn)地： | 江蘇 |
| 關注度： | 734 |
| 型號： | 電阻加熱8英寸PVT晶體生長爐PVT850 |
核心參數(shù)
非金屬電熱元件：其他
金屬電熱元件：其他
燒結氣氛：其他
產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品特點
可生長8英寸碳化硅晶體
腔體內壁拋光處理，減少附著力，實現(xiàn)高真空
更精準的控壓技術，長晶工藝壓力波動<5Pa
多溫區(qū)設計，方便調節(jié)軸向和徑向溫度場
坩堝軸冷卻水流量可精確控制，溫度場更穩(wěn)定
配備坩堝升降和旋轉功能，方便厚膜晶體生長溫度場控制
可選配坩堝拆卸絞盤和平臺，拆爐方便、安全
自主開發(fā)的控制系統(tǒng)，豐富的公式編輯界面，操作權限分級，可遠程控制
技術參數(shù)
腔體內部尺寸Φ850×800mm總加熱功率55kW**溫度2400℃坩堝軸升降速度加工速度：0.01-0.5mm/h
快進速度：6-300mm/min極限真空1.4E-4Pa壓力控制精度±0.5％電源接口3P 380VAC，95kVA氣源Ar、He、N2，壓力＞0.2MPa
壓縮空氣、壓力0.4-0.6MPa冷卻水圧力0.3-0.5MPa
流量150L/min尺寸2300×2000×3000mm（不包括坩堝拆卸絞車和平臺）
3400×2000×3000mm（包括坩堝拆卸絞盤和平臺）重量3900kg
問商家
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豐港化學材料科技（張家港）有限公司為您提供豐港化學電阻加熱8英寸PVT晶體生長爐PVT850，電阻加熱8英寸PVT晶體生長爐PVT850產(chǎn)地為江蘇，屬于粉體焙燒爐，除了電阻加熱8英寸PVT晶體生長爐PVT850的參數(shù)、價格、型號、原理等信息外，還可為您提供LPE（液相法）長晶爐、硅 環(huán)、硅 筒。
工商信息
企業(yè)名稱
豐港化學材料科技（張家港）有限公司
企業(yè)類型
信用代碼
91320582MADE2JT945
法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經(jīng)營范圍
