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美國SVT 脈沖激光沉積設備
報價:面議
品牌: 北京中精儀
產(chǎn)地: 北京
關注度: 1064
型號: 美國SVT 脈沖激光沉積設備
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產(chǎn)品介紹

美國SVT 脈沖激光沉積設備/PLD應用

● 多元素復合氧化物

● 高溫超導材料

● 磁性材料、金屬材料

● 低蒸汽壓材料

● MEMS


基本系統(tǒng)

腔室及真空泵

12’’ 快速門,250l/s 分子泵,全量程規(guī)


沉積源

靶臺,6X1’’(25mm) 靶,可以水平旋轉,可Z方向移動


樣品臺

1’’(25mm)大小,可加熱至800oC(1000oC可選),可水平旋轉,可Z方向移動


在線工藝監(jiān)控

石英晶振沉積速率監(jiān)控儀


自動化

自動化裝置:

控制樣品溫度和旋轉

靶臺的位置控制

靶臺旋轉

氣體控制

速率及厚度計算(利用QCM輸出)

激光束掃描(可選)

激光束屏蔽控制

自動泵抽和充氣

差分泵抽結構

RHEED分析(可選)

裝載室壓強監(jiān)控(可選)


美國SVT 脈沖激光沉積設備/PLD主要特點
RF射頻等離子源(氧,氮)
升級高真空
增加進樣室
升級為Laser-MBE (L-MBE)系統(tǒng)
自動軟件控制

提供更潔凈的薄膜生長環(huán)境,控制解決方案


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工商信息
企業(yè)名稱

北京中精儀科技有限公司

企業(yè)類型

信用代碼

91110108585831116U

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