◆ 設備采用模塊化結構設計，可方便切換晶體生長尺寸和石英腔室冷卻方式；◆ 全金屬密封結構可以降低漏率；◆ 旋轉液動力的冷卻方式提升了冷卻均勻性；◆ 高精度控溫控壓及遠程監控技術進一步提升了設備自動化程度。
