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產(chǎn)品概述

利用碳化硅外延設(shè)備在自產(chǎn)碳化硅襯底上生長一層高質(zhì)量的碳化硅單晶薄膜，制成碳化硅外延片。碳化硅外延片經(jīng)過晶圓制造、封裝檢測等環(huán)節(jié)，可制成碳化硅功率器件。