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基于經典基片彎曲法Stoney公式測量原理，采用先進的矩陣激光點陣掃描方式和探測技術，以及智能化的操作，使得FST2000薄膜應力儀特別適合于晶圓類光電薄膜樣品的曲率半徑和應力測量。

獨特的雙模掃描模式方便適應不同應用場景下需求：Mapping不同區域的薄膜應力分布或快速表征樣品整體平均殘余應力。