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產品簡介

      ELEDE 380系列刻蝕機是LED芯片制作的關鍵設備, 可以用于正裝芯片，倒裝芯片，垂直芯片這三種芯片中的電極刻蝕(刻蝕材料GaN, AlGaInP/GaP)，隔離刻蝕(刻蝕材料GaN,GaAs)SiO_2, SiN_X),SiO₂ 和金屬阻擋層刻蝕(刻蝕材料TiW)。良好的刻蝕均勻性對芯片的亮度和良率至關重要。