也稱為濺射離子泵或離子吸氣泵，是使用陽極/陰極陣列來電離氣體的捕集泵。離子濺射反應性陰極材料，產生化學反應，將電離氣體轉化為固體化合物。這些化合物不再對真空系統的壓力產生影響，并被**地封存在離子泵內。離子泵可以在 10-5 至 10-12 mbar 的范圍內運行，氮氣抽取速度范圍為 0.2 至 1200 l/s。
