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氧化鋁陶瓷材料,鑒于其在高頻應用場景下展現出的出色電氣特性——低介電損耗、高體積電阻率、出色的機械強度、微小的熱膨脹系數以及經濟高效的制造成本,已成為電氣組件中不可或缺的絕緣介質。然而,氧化鋁陶瓷與金屬的直接焊接面臨諸多技術障礙,因此,需在其表層構建一層金屬薄膜,即實施金屬化處理。當前主流技術是通過在陶瓷表面燒結金屬薄膜以實現金屬化,這一方法廣泛應用于實踐中。
在陶瓷金屬化技術領域,鉬錳法長期占據主導地位。但隨著技術迭代,技術人員已開始探索采用成本更低的金屬鎢進行陶瓷金屬化。從成本效益、電氣性能及機械強度等關鍵技術指標評估,鎢金屬化工藝不僅與鉬錳法相媲美,在某些特定陶瓷基片金屬化應用中,其表現甚至超越傳統工藝。
鎢金屬化工藝的核心環節在于鎢漿料的制備。這一過程與太陽能銀漿的生產有相似之處,其中,鎢漿的細度控制對最終燒結效果具有直接影響。若細度不達標,將嚴重損害燒結后陶瓷基片的成品率,導致元器件密封性、燒結層粘附力及電路電氣性能等一系列質量問題無法得到保障。
一般來說,用于陶瓷金屬化的鎢漿粘度較高,基本上都在80000Cps以上;而要求的細度則在4um-5um。由于普通三輥機能夠最終達成的分散研磨細度都在10um以上,所以需要采用高精度的三輥機來進行分散研磨。以下例應用案例來說,我們就采用了TRILOS公司的TR80A型三輥研磨機對粘度為85000Cps進行分散處理。
首先在間隙模式下進行預混合作業,初始細度約為12um。設備前后間隙分別如下:
在間隙模式下連續進行兩個循環的預混合后,漿料流動性會有所改善。因此可以確定漿料已經通過間隙間的剪切力被充分混合了。此時漿料的細度如下圖所示,大于8um,可見在預混合的過程中,已經出現部分分散效果。但要達成最終細度,還需要采用TR80A的壓力模式來進行進一步研磨。
所謂壓力模式,即輥筒與輥筒之間只輸出固定的壓力值,而間隙是不斷通過PID處理器控制變化以保持恒定壓力的輸出。該操作對于物料中含有不易產生變形的顆粒,粒型無特殊要求的分散研磨效果比較突出。而鎢漿就符合上述要求,故采用壓力模式進行加工。具體的三輥機參數設置如下所示:
而采用壓力模式對物料進行處理,僅僅需要一次循環后即可得到最終細度在5um以下的鎢漿。且由于輥筒材質選用的為氧化鋯輥筒,所以物料損失很小;輥筒表面也比較容易清潔。沒有出現顆粒嵌入輥筒或輥筒劃痕的情況。
總體觀察該案例后,可得出以下幾點結論。首先,對于粘度比較高的鎢漿來說,想要通過其他的分散研磨手段來降低細度較有效且性價比較高的方法為三輥研磨機。其次,輥筒材質的選擇上,由于主要降低細度的過程為壓力模式。故采用氧化鋯或碳化硅一類表面粗糙度較低的輥筒較合適。否則極易造成清潔不佳產生的殘留物料串混。最后必須采用間隙模式加壓力模式的雙模式操作才能夠在同一部設備上完成由預混合到高精度分散研磨的整個過程。
