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1200℃滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
報價:20-30萬元
品牌: | 中環(huán) |
產(chǎn)地: | 天津 |
關(guān)注度: | 4512 |
型號: | 1200℃滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng) |
產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品用途:
產(chǎn)品專業(yè)性:
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。
產(chǎn)品組成:
PECVD系統(tǒng)配置:
1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐
2.等離子射頻電源
3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
4.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)
產(chǎn)品特點(diǎn):
生長溫度低;沉積速率快;成膜質(zhì)量好,適用范圍廣,設(shè)備簡單。
問商家
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供應(yīng)產(chǎn)品
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工商信息
企業(yè)名稱
天津中環(huán)電爐股份有限公司
企業(yè)類型
信用代碼
91120113700587236G
法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經(jīng)營范圍