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1200℃滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
報價:20-30萬元
品牌: 中環(huán)
產(chǎn)地: 天津
關(guān)注度: 4512
型號: 1200℃滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
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產(chǎn)品介紹

 產(chǎn)品用途:

產(chǎn)品專業(yè)性:

PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。

 

產(chǎn)品組成:

PECVD系統(tǒng)配置:

1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐

2.等離子射頻電源

3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

4.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)  

 

產(chǎn)品特點(diǎn):

生長溫度低;沉積速率快;成膜質(zhì)量好,適用范圍廣,設(shè)備簡單。

 



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