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碳基復(fù)合材料熱工裝備

• 臥式化學(xué)氣相沉積爐（碳化硅）
• 立式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）
• 臥式化學(xué)氣相沉積爐（SiC、BN）
• 立式化學(xué)氣相沉積爐（SiC、BN）

陶瓷基復(fù)合材料裝備

• 臥式真空裂解爐
• 立式真空裂解爐
• 真空浸漬爐

半導(dǎo)體材料熱工裝備

• 間歇式提純爐（臥式）

高性能陶瓷熱工裝備

• 碳化硅燒結(jié)爐（臥式）
• 氮化硅壓力燒結(jié)爐（臥式）
• 連續(xù)式燒結(jié)爐
• 立式真空（脫脂）燒結(jié)爐（碳化物陶瓷）

高溫高壓熱工裝備

• 壓力熔滲爐

真空熱處理裝備

• 立式雙室真空氣冷油淬爐

固廢熱解裝備

• 廢電池再生利用處理成套裝備，固廢熱解設(shè)備
• 廢電池?zé)峤饣厥粘商籽b備（氫氣還原）
• 廢電池?zé)峤饣厥粘商籽b備（碳還原）
• 廢電池?zé)峤饣厥粘商籽b備（天然氣還原）

高純碳材料

• TaC 碳化鉭涂層

真空爐

• 真空燒結(jié)爐（碳化硅/氮化硅/氮化鋁）
• 臥式化學(xué)氣相沉積爐（碳化硅）
• 立式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）
• 臥式化學(xué)氣相沉積爐（SiC、BN）

真空泵

• EM系列單級(jí)旋片泵
• PLV系列單級(jí)旋片泵
• EU系列單級(jí)旋片泵
• PHV系列雙級(jí)旋片泵

氣體保護(hù)爐

• 氮化硅壓力燒結(jié)爐（臥式）
• 連續(xù)式燒結(jié)爐
• 間歇式提純爐（臥式）
• 間歇式提純爐（立式）

還原爐

• 廢電池?zé)峤饣厥粘商籽b備（氫氣還原）
• 廢電池?zé)峤饣厥粘商籽b備（碳還原）
• 廢電池?zé)峤饣厥粘商籽b備（天然氣還原）
• 稀有貴金屬鎢鉬錸全自動(dòng)智能生產(chǎn)線

羅茨泵

• GM系列羅茨泵
• GMa HV/BP系列羅茨泵

網(wǎng)帶爐

• 網(wǎng)帶式燒結(jié)爐
• 廢電池再生利用處理成套裝備，固廢熱解設(shè)備

粉體生產(chǎn)線

• 等離子旋轉(zhuǎn)電極霧化制粉設(shè)備

鋁粉

• γ-AlON 氮氧化鋁粉 純度：≥99.9%

陶瓷制品

• TaC 碳化鉭涂層

輥道爐

• 超高溫碳化物沉積爐

推板隧道爐

• 推桿式燒結(jié)還原爐

實(shí)驗(yàn)電爐

• 連續(xù)式預(yù)氧化爐