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智能型PECVD系統
報價：面議
| 品牌： | 貝意克 |
| 產地： | 安徽合肥 |
| 關注度： | 1848 |
| 型號： | PECVD-III-500A-D210 |
核心參數
非金屬電熱元件：其他
金屬電熱元件：鐵鉻鋁絲
燒結氣氛：其他
溫控精度：±1℃
最高溫度：1200℃
額定溫度：≤1100℃
產品介紹
一、設備組成
這是一款智能型PECVD系統。該設備主要分為四大部分：多溫區管式爐、射頻組件、氣路系統、及自動化控制軟件集成系統。
1、開啟式加熱爐
加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配K型熱電偶，6點控溫；設備升降溫控制靈活、加熱爐可電動開啟方便客戶更換維修反應管。
2、氣路系統
可由質量流量計精確控制多路氣體按不同流量進行混合配比，另外單獨1路過鼓泡器后進入反應管內。
3、射頻組件
1000W高性能射頻輝光均勻，可使整個反應腔體都處于輝光產生區。
4、 智能控制系統
采用智能PID模糊控制，30段可編程控制。具有超溫和斷偶報警功能。
二、技術參數
**溫度 | 1200℃ |
持續工作溫度 | ≤1100℃ |
升溫速率 | ≤10℃/min |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
熱電偶 | K型 |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調節，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能，人機界面加PLC控制，15寸液晶屏控制，數字工控儀表雙控，采用工業智能控溫儀和軟件實現雙控 |
加熱總功率 | ≤15KW |
加熱區尺寸 | 300+300+300mm |
射頻功率 | 1000W |
設備尺寸 | 2550*850*1600mm |
設備重量 | 約600KG |
問商家
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供應產品
安徽貝意克設備技術有限公司為您提供貝意克智能型PECVD系統，智能型PECVD系統產地為安徽合肥，屬于管式爐，除了智能型PECVD系統的參數、價格、型號、原理等信息外，還可為您提供卷對卷連續化生長CVD設備RTR-III-80、大面積CVD石墨烯生長設備、前端預熱法硫化鉬制備設備。
工商信息
企業名稱
安徽貝意克設備技術有限公司
企業類型
信用代碼
91340100591423143H
法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經營范圍
