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小型三溫區PECVD設備
報價:面議
品牌: | 貝意克 |
產地: | 安徽合肥 |
關注度: | 1760 |
型號: | BTF-1200C-III-S-PECVD |
核心參數
非金屬電熱元件:其他
金屬電熱元件:鐵鉻鋁絲
燒結氣氛:其他
溫控精度:±1℃
最高溫度:1200℃
額定溫度:≤1100℃
產品介紹

這是一款定制組合式PECVD設備。該設備主要由加熱爐、射頻組件、氣路柜組成。
1、開啟式加熱爐
加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料,配K型熱電偶,3點控溫;設備升降溫控制靈活、加熱爐可開啟方便客戶更換維修反應管。
2、射頻組件
500W射頻機組,可以使整個實驗腔體都處于輝光產生區,輝光均勻等效。
3、氣路柜組件
可控制多種氣體按照不同流量進行混合配比,由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭組成,外形美觀,操作簡便,數據直觀可讀。

加熱總功率 | ≤7KW |
額定電壓 | 220V |
**溫度 | 1200℃ |
工作溫度 | ≦1100℃ |
升溫速率 | ≦10℃/min |
加熱元件 | 電阻絲 |
加熱區長度 | 200+200+200mm |
熱電偶 | K型熱電偶 |
控溫方式 | 模糊PID控制和自動整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能 |
控溫精度 | ±1℃ |
設備尺寸 | 2700x600x1250mm |
設備重量 | 約180KG |
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安徽貝意克設備技術有限公司為您提供貝意克小型三溫區PECVD設備,小型三溫區PECVD設備產地為安徽合肥,屬于管式爐,除了小型三溫區PECVD設備的參數、價格、型號、原理等信息外,還可為您提供卷對卷連續化生長CVD設備RTR-III-80、大面積CVD石墨烯生長設備、前端預熱法硫化鉬制備設備。
工商信息
企業名稱
安徽貝意克設備技術有限公司
企業類型
信用代碼
91340100591423143H
法人代表
注冊地址
成立日期
注冊資本
有效期限
經營范圍