氮化鋁陶瓷燒結解決方案2019/12/03 閱讀：2392 164KB
方案摘要
方案下載 氮化鋁（AlN）陶瓷基片是一種新型的基片材料，具有優異的電性能、力學性能以及熱性能，其熱導率高（理論熱導率280W/m/K）、介電常數低（約為8.8）、擁有與硅Si相匹配的熱膨脹系數（293K-773K，4.8×10-6K-1）、電阻率高（>1014Ω?cm）、擊穿場強高（1.4×107V/cm）、比重低（理論密度3.26g/cm3）、機械強度高（抗彎強度300-400MPa）、無毒，是理想的大規模集成電路散熱基板和封裝材料。除此之外，氮化鋁陶瓷基板不含有機成分，銅層不含氧化層，對熔融金屬有優良的耐腐蝕特殊性，使用壽命長，可在還原性氣氛中長期使用，在國防、航空航天、通訊、微電子等領域內應用前景十分廣闊。
然而,由于AlN是以共價鍵結合為主的化合物,自擴散系數小, 難以燒結致密，所以AlN的燒結工藝是基片材料制作過程中的一處難點。 氮化鋁陶瓷的燒結主要需要注意以下幾點，首先是升溫速率、燒結溫度和保溫時間，其次要選擇合適的保護氣氛防止AlN氧化，最后還要確保燒結設備有很好的溫度均勻性。
Carbolite?Gero（卡博萊特?蓋羅）在國內外氮化鋁陶瓷燒結方面有非常廣泛的客戶群體和成熟的工藝技術，可為氮化鋁陶瓷燒結提供溫度高達2200℃的箱式爐（HTK系列）和鐘罩爐（HBO系列）。
爐子的防輻射隔熱屏蔽材料和加熱元件是同一材質，沒有纖維保溫材料，所以可達到高真空度和純凈的氣氛環境（纖維材料會有孔隙），保證了燒結工藝在高溫下的安全性。Carbolite?Gero還可保證高純度氣氛環境（>6N）和高真空度。根據要求提供氫氣分壓以及可燃或有毒氣體的認證安全管理。用于質量控制的數據記錄。另外，加熱元件的合理分布、三區控溫熱技術以及氣氛預熱保證了設備良好的溫度均勻性。除此之外，爐體可自動升降，過程十分平穩，確保樣品不受震動的影響。
HBO 60/W22-1G 用于LTCC/ALN基板及封裝
Carbolite?Gero（卡博萊特?蓋羅）是專業高端的箱式、管式馬弗爐和烘箱品牌，溫度范圍30℃-3000℃，產品覆蓋高溫爐、真空爐、氣氛爐、石墨爐，已被廣泛應用于航空航天、陶瓷、煤炭、金屬、電子等行業，并可為客戶提供滿足行業標準和工藝需求的定制化解決方案。
