BET測試理論是根據希朗諾爾、埃米特和泰勒三人提出的多分子層吸附模型，并推導出單層吸附量Vm與多層吸附量V間的關系方程，即著名的BET方程。BET方程是建立在多層吸附的理論基礎之上，與物質實際吸附過程更接近，因此測試結果更準確。通過實測3-5組被測樣品在不同氮氣分壓下多層吸附量，以P/P0為X軸，P/V(P0-P)為Y軸，由BET方程做圖進行線性擬合，得到直線的斜率和截距，從而求得Vm值計算出被測樣品比表面積。理論和實踐表明，當P/P0取點在0.35-0.05范圍內時，BET方程與實際吸附過程相吻合，圖形線性也很好，因此實際測試過程中選點在此范圍內。
BET方程如下：
式中： P: 氮氣分壓
P0: 液氮溫度下，氮氣的飽和蒸汽壓
V: 樣品表面氮氣的實際吸附量
Vm: 氮氣單層飽和吸附量
C : 與樣品吸附能力相關的常數
BET實驗操作程序與直接對比法相近似，不同的是BET法需標定樣品實際吸附氮氣量的體積大小，理論計算方法也不同。BET法測定比表面積適用范圍廣，目前國際上普遍采用，測試結果準確性和可信度高，特別適合科研單位使用。當被測樣品吸附氮氣能力較強時，可采用單點BET方法，測試速度與直接對比法相同，測試結果與多點BET法相比誤差也不大。
