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潔凈室烘箱是否要選配HEPA過濾系統

關于潔凈室烘箱是否要加HEPA(High Efficiency Particulate Air)過濾系統一直是個熱議的話題。為了說清楚這個話題,我們要了解一下什么是潔凈室烘箱,與普通烘箱有什么區別。首先潔凈室烘箱的定義是:可以在潔凈室環境內使用的烘箱。這里強調的是潔凈室,也就是說潔凈室烘箱不能在普通環境中使用,否則達不到潔凈度的要求。而普通烘箱加配HEPA過濾系統后,雖然一定程度上能過濾爐膛中的顆粒,但是爐膛與保溫棉之間并不是全密閉的;裝取樣品時,空氣中的顆粒會直接接觸樣品。以下是這兩種烘箱的配置和適用場景:


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普通烘箱為了保證內部一定的潔凈度,需通過HEPA過濾系統凈化空氣;潔凈室烘箱直接使用潔凈室預過濾的空氣。潔凈室內的顆粒,可以通過潔凈室內的過濾系統清除。


為什么不在潔凈室烘箱上再增加一套HEPA過濾系統,豈不是除塵更高效?其實不然,HEPA過濾器的風阻較高(約250~400 Pa),可導致爐膛氣流速度降低,影響溫度均勻性,溫度更有可能會超溫;風機負載增大,能耗上升。HEPA過濾系統長時間使用后,會富集灰塵顆粒,反過來會污染潔凈室。最后HEPA耐溫通常120℃-350℃,需要更高溫度的熱處理要求,則無法使用,如:半導體器件、透鏡、鍍膜后退火工藝。


無HEPA過濾系統的潔凈室烘箱如何保證潔凈度呢?除了潔凈室本身的過濾系統外,潔凈室烘箱制造工藝與普通烘箱有很大區別,才能確保工藝環境符合潔凈標準ISO 14644-1。


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關鍵性特點

o   密封性:爐門處采用硅膠密封,防止外界污染侵入。內部保溫材料完全與爐膛和潔凈室環境隔離,密封焊接在爐體的夾層中。

o   空氣循環:搭配高效風機,確保爐膛內部氣流均勻且無死角。風機采用全封閉無刷電機,運行時本身不產生塵埃和顆粒。

o   烘箱外殼涂層:光滑的環氧樹脂涂層,不會剝落。

爐膛材質:內腔為316L不銹鋼,表面電解拋光或鈍化處理,減少顆粒脫落。爐膛焊接處也作鈍角處理,方便清理。


只有這樣才能確保烘箱在日常使用時,設備本身不會產生污染潔凈室的塵埃和顆粒。至于樣品在熱處理過程中,如果有可能潛在的揮發物、顆粒,設備可選配排氣風機。連接潔凈室的廢氣排風管道。更可只把烘箱的爐門這部分安裝在潔凈室內,烘箱的爐體部分安放在灰室內。如下圖所示。


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此次展示的卡博萊特蓋羅潔凈室烘箱型號分別是CR(最高溫度250℃)和HTCR(最高溫度600℃),爐膛有多種規格尺寸,具體可參見官網。


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德國Retsch(萊馳)  2025-06-06  |  閱讀:946
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