中國粉體網訊 近日，滁州市人民政府發布了關于《安徽珂瑪材料技術有限公司半導體設備用碳化硅材料及部件項目環境影響報告表》受理公示。
來源：中新蘇滁高新技術產業開發區官網
文件顯示，安徽珂瑪科技將在滁州市中新蘇滁高新技術產業開發區蘇滁現代工業坊陸號廠房進行擴建，項目建成后可年產290噸機械設備換熱防腐部件和10噸半導體設備用碳化硅陶瓷部件，目前，年產180噸機械設備換熱防腐部件和8噸半導體設備用碳化硅陶瓷部件生產裝置已建成，已通過自主驗收并完成排污許可登記。由于6號廠房空間限制，剩余110噸機械設備換熱防腐部件和2噸半導體設備用碳化硅陶瓷部件生產線不再建設。
碳化硅憑借其優異的高溫力學強度、高硬度、高彈性模量、高耐磨性、高導熱性、耐腐蝕性等性能，成為用途最廣的陶瓷材料之一。尤其是在半導體裝備領域，裝備制造是半導體產業的核心組成部分，在某種意義上裝備的先進程度可以代表整個國家的工業發展水平。精密陶瓷作為不可或缺的零部件材料，已經被引入到各種半導體裝備之中，碳化硅陶瓷即是其中的代表，尤其是在光刻機、刻蝕機等最頂尖的設備中，碳化硅陶瓷部件被大量使用。
近年來隨著全球半導體產業的快速發展和國產化進程的推進，展現出廣闊的發展前景。在此背景下，為滿足不斷擴大的市場需求，公司擬投資6542.42萬元建設“半導體設備用碳化硅材料及部件項目”。本次擴建調漿工藝增加真空攪拌設備，使漿料調配得更加均勻，可進一步提高產品質量，其余工藝與現有相同，新增半導體設備用碳化硅陶瓷部件11000件/年（約8噸/年）。
據悉，安徽珂瑪材料技術有限公司是蘇州珂瑪材料科技股份有限公司的子公司，成立于2022年11月，主要從事碳化硅晶舟、碳化硅爐管等高精密陶瓷部件以及各種專業設備的設計制造。
近些年，珂瑪科技掌握了從材料配方到零部件制造的先進陶瓷全工藝流程技術，目前已量產氧化鋁、氧化鋯、氮化鋁、碳化硅、氧化釔和氧化鈦6大類先進陶瓷材料，累計設計開發了一萬余款定制化零部件。
2025年上半年，珂瑪科技半導體領域結構件產品銷售收入比去年同期增長66.06%。其中靜電卡盤與超高純碳化硅套件也逐步量產，并在上半年形成了一定的收入。其超高純碳化硅套件產品純度高達99.99%，缺陷密度控制在每平方厘米不超過1個，技術指標達到國內領先水平。
在碳化硅零部件的產業布局上，7月22日，珂瑪科技擬以1.02億元現金收購蘇州鎧欣73%的股權。蘇州鎧欣在CVD碳化硅陶瓷零部件領域技術深厚，其產品已在Si外延、SiC外延、GaN外延等多個領域實現規模化應用，碳化硅刻蝕環、碳化硅噴淋頭、12英寸Si外延用碳化硅涂層石墨基座等先進產品的開發也取得了良好進展。
同時，珂瑪科技位于江蘇蘇州的先進材料生產基地已正式投產，重點布局陶瓷加熱器、靜電卡盤及超高純碳化硅套件等“結構-功能”一體化模塊產品。
此次擴建項目將進一步提升安徽珂瑪在半導體設備用碳化硅陶瓷部件領域的生產能力，滿足市場對高精密陶瓷部件的不斷增長需求，推動半導體產業的發展。
來源：中新蘇滁高新技術產業開發區官網、珂瑪科技公告、粉體網
（中國粉體網編輯整理/空青）
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