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新品發布!3000h 燈絲重磅來襲! 開啟Phenom XL G3 時代!
復納科學儀器(上海)有限公司 2025/9/8 16:21:47 點擊 920 次


「特點速覽」

  • 穩定可靠: 80年頂尖技術傳承。

  • 獨家采用 CeB6 晶體燈絲: 3000 h 超長使用壽命,平均 5 年換燈絲。

  • 面向工業 4.0 的自動化與 AI 智能掃描電鏡:開放編程接口,打造定制化的“黑燈實驗室”檢測流程,支持 Maps 地圖式多模態、多維度自動拼圖及關聯。

  • 不挑安裝環境:內置專利減震系統,可直接放置于生產車間、高樓層 QC 實驗室等。

  • 原廠集成能譜 EDS:從電子光學設置、圖像采集到能譜分析和面分布,都在同一個統一、直觀的界面中完成。卓越的低電壓成像功能:對于不導電、導電性差、以及電子束敏感樣品,不噴金,仍具有卓越的成像能力。


01

80 年頂尖技術傳承


01飛利浦時期(1939-1996)

  • 起源:1939 年,Le Poole 提出電子顯微鏡構想,1944 年成功開發 150kV 電子顯微鏡,奠定技術基礎。

  • 發展:1949 年推出第一臺商業化電鏡 EM100。后續不斷推出創新產品,如 1972 年進入 SEM 市場,推出 PSEM500。


02FEI 時期 (1996-2016)

  • 合并:1997 年,飛利浦電子光學業務與 FEI 合并,獲得 ESEM 技術,技術實力增強。

  • 創新:2006 年推出全球首臺桌面型掃描電鏡--飛納(Phenom World),首次使用 1500h 長壽命 CeB6 燈絲。


03賽默飛時期(2016-至今)

  • 收購:2016 年,FEI 被賽默飛收購。2018 年 Phenom World 被賽默飛收購,正式更名為 Thermo Scientific 品牌。



  • 傳承與發展:技術上繼承 FEI 創新成果,繼續提升性能,目前除了 CeB6 燈絲系列,還有臺式場發射電鏡系列,公安法醫等特定領域專用電鏡,產品線豐富,型號達數十種。



飛納電鏡從飛利浦到賽默飛,歷經近 80 年技術沉淀,從最初的構想與商業化,到不斷的技術創新與突破,始終在電子顯微鏡領域保持領先地位。


02

3000h CeB6 晶體燈絲


平均 5 年更換燈絲

擁有超長壽命核心部件,獨家采用 3000 小時高亮度六硼化鈰(CeB?)燈絲,平均 5 年更換燈絲,確保設備 7×24 小時連續運行,減少維護頻率和持有成本,讓產線或實驗室長期穩定運行無憂。


03

AI 智能掃描電鏡


面向工業 4.0 的自動化

從裝樣到出圖,僅需 1 分鐘,高測試效率,操作員無需漫長等待,檢測通量比傳統電鏡提升 5-10 倍,極大加速了 QC 判斷和研發迭代。


01“深度集成,隨需而變”

開放的自動化接口,提供 Python 腳本控制 (PPI),可以無縫集成到客戶現有的自動化產線和 LIMS 系統中。精準的自動化馬達臺,結合軟件腳本,一次可容納 36 個樣品,打造“無人值守的質檢工廠”,自定義設定程序,在夜間或休息時間對大批量樣品進行自動拍照和分析,最大化設備利用率。


02“一張圖看全貌,多點分析無遺漏”

在晶圓、濾膜、金屬斷口等大樣品上,自動獲取全景高清圖,并對預設的關鍵點位進行高倍率分析,確保檢測無死角。


03從“看”到“算”

專業的自動化分析軟件,ParticleMetric (顆粒統計)、FiberMetric (纖維統計) 等專用軟件。自動化完成需要人工數小時才能完成的顆粒度、形貌、尺寸分布等統計工作,輸出標準化報告,實現真正的量化品控。


04

不挑安裝環境


內置專利減震系統,超強的環境適應性

內置專利減震系統,對安裝環境要求低,無需防震臺,可直接放置于生產車間、樓層 QC 實驗室等,甚至可以車載,野外場景使用。節省實驗室改造費用,真正做到“買得起,更能用得好”。

飛納電鏡曾經參與冰島火山口、西班牙無人島等科學研究項目,是適用于最惡劣環境的便攜掃描電鏡。科研人員采集樣本回到帳篷中,利用飛納電鏡來確定樣本的化學構成,極大地提高了樣本采集和分析的效率。


05

原廠集成能譜 EDS


完全集成能譜探測器,所有操作:從電子光學設置、圖像采集到能譜分析和面分布,都在同一個統一、直觀的界面中完成。


01ChemiSEM 彩色成像技術

形貌圖像和元素數據實時同步,無縫調用。用戶可以在觀察形貌的同時,即時進行點、線、面分析,無需任何數據導入導出的步驟。


02Phase Mapping 相分析軟件

專有的在線相分析軟件模塊 (Phase Mapping),利用強大的算法,根據每個像素點的元素定量結果,自動識別、分類并標定出不同的“相”或“化合物”。


06

卓越的低電壓成像功能


PhenomXL G3 配備了全新升級真空設計和背散射探測器 (BSD),優化了低電壓下的靈敏度,提升了總體的信噪比 (S/N),對于不導電、導電性差、以及電子束敏感樣品,可以使用更低的束流進行拍攝,提升分辨率的同時,降低荷電效應帶來的影響。


由于整體信噪比的提升,我們可以使用更短的采集時間采集同樣質量的照片,在自動化工作流程中,高通量照片拍攝的總效率平均提升 30%。



電子陶瓷

放大倍數:1,000X

5kV,未噴金,背散射電子像

觀測到陶瓷內晶粒大小和空隙



CMOS 探測器

  • 放大倍數:5,000X

  • 2kV,二次電子像

  • 可以清晰看到像素單元及表面污染物


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